半导体行业的定制解决方案
LAPMASTER WOLTERS 是半导体客户在硅片及LED硅片加工领域内众所周知的、可靠的合作伙伴。 LAPMASTER WOLTERS为客户提供定制的硅片和基质精密表面加工技术解决方案。服务领域为用于微电子、微光学和微机械设备制造的硅片、蓝宝石、砷化镓、碳化硅等材料。
我们的研磨、精磨和抛光机加工后工件的局部和整体几何形状均具有优势。
LAPMASTER WOLTERS AC 1000 双端面加工设备为工件的批量精加工而设计。AC 1000通过采用模块化设计,可用于精密磨削、研磨、以及抛光加工。
PETER WOLTERS AC 400 双端面批量加工设备是针对高精密系列工件加工而设计。设备采用模块化设计,可作为精磨机、研磨机、珩磨机、去毛刺机及抛光机使用。
工件尺寸直径 6 英寸 ×650 毫米针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计
SS-56H研磨机配备直径56英寸(1422mm)研磨盘。HT300灰铸铁材质,符合ISO185(2005)认证。研磨盘为多个贴片用螺钉固定到支撑盘上。
SS-56H研磨机配备直径56英寸(1422mm)研磨盘。HT300灰铸铁材质,符合ISO185(2005)认证。研磨盘为多个贴片用螺钉固定到支撑盘上。
工件尺寸:直径 8 英寸 ×420 毫米·优化砂浆切割液管理·在碳化硅(SiC)及 8 英寸半导体行业堪称同类·适用于不同规格的多样化应用
可根据客户工件要求提供多种材料及结构方式的毛刷
SS-48H研磨机配备直径48 英寸(1219mm)研磨盘。HT300灰铸铁材质,符合ISO185(2005)认证。研磨盘为多个贴片用螺钉固定到支撑盘上。
LapmasterWolters84设备研磨盘的直径为2134mm。研磨盘由HT300灰铸铁制造而成,满足ISO185(2005)标准。研磨盘和支撑盘用螺丝紧固连接。抛光液通过供给管路分配给各修整环,各管路带单独流量控制阀。由于该设备没有工作台,调整臂可以垂直和侧向调整,所以可以补偿研磨盘由于长时间使用时产生的正常磨损。过剩的研磨剂通过倾斜的排放管路可以流回到研磨剂供给箱内。另外,搅拌器的连续搅动